Este módulo presenta una introducción y demostración de fotolitografía, proceso de copiar un patrón de alta resolución en múltiples sustratos.  Los estudiantes replican los pasos clave en el proceso de fotolitografía y aprenden cómo estos procesos encajan en la fabricación de dispositivos de micro y nano escala, como son los circuitos integrados.  Esta actividad utiliza disolventes y productos químicos similares a los utilizados en la industria electrónica para realizar un paso clave en el proceso de fabricación de circuitos integrados.  También está disponible una versión modificada de esta actividad que usa la química basada en agua.

Este recurso contiene varios documentos para descargar, incluida una guía del maestro y diapositivas de presentación. Para ver una lista de todos los documentos, haga clic en la pestaña Documentos de Apoyo (Supporting Docs).

Available in english: Photolithography Option A.

Fundación Nacional de Ciencias

Researchers should cite this work as follows:

• Nano-Link Center for Nanotechnology Education, James J Marti, Maryam Jalali, Rodfal Alberto Rodriguez, María Teresa Rivera (2020), "Fotolitografía Opción A (a base de solvente) - Photolithography (Option A))," https://nanohub.org/resources/33770.

  BibTex | EndNote

1. ATE Centers
2. educator resources
3. high school
4. K-12
5. lab experiment
6. lithography
7. microelectronics
8. middle school
9. Nano-Link
10. Nanoscience and Nanotechnology
11. nanoscience/technology education
12. photolithography
13. Spanish
14. Tools for Simulating Lithography